【編號】2023-21

【名稱】一種基于壓力波的PVDF壓電膜微小脈動流量計及其制作方法

【公開（公告）號】CN115655392A

【公開（公告）日期】2023.01.31

【申請（專利權(quán)）人】北京化工大學(xué)

【摘要】本發(fā)明公開了一種基于壓力波的PVDF壓電膜微小脈動流量計及其制作方法，包括PVDF壓電膜壓力波敏感單元、壓電信號處理電路、微流道結(jié)構(gòu)、封裝結(jié)構(gòu)；所述PVDF壓電膜壓力波敏感單元制作于微流道兩處不同位置的外表面并封裝于環(huán)氧樹脂結(jié)構(gòu)內(nèi)，用于敏感微流道內(nèi)脈動流攜帶的壓力波動，將壓力波動反映為電荷變化；所述壓電信號處理電路，采集PVDF壓電膜壓力波敏感單元輸出的電荷并放大轉(zhuǎn)化成電壓信號，同時濾除噪聲并篩選信號中有效成分；所述微流道結(jié)構(gòu)為具有一定長度的圓形管道，選取兩處外表面制作PVDF壓電薄膜包裹層，兩端設(shè)置通用管道接口，對整體管道使用環(huán)氧樹脂封裝。本發(fā)明制作簡單、體積小、靈敏度高等，可用于環(huán)境檢測、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的脈動流量測量。