【編號(hào)】2023-05

【名稱】一種PTFE小型儲(chǔ)液罐

【公開(kāi)（公告）號(hào)】CN218663144U

【公開(kāi)（公告）日期】2023.03.21

【申請(qǐng)（專利權(quán)）人】上海沃特華本半導(dǎo)體科技有限公司

【摘要】本申請(qǐng)涉及一種PTFE小型儲(chǔ)液罐，其包括PFA罐和進(jìn)液組件，PFA罐用于儲(chǔ)存藥液，PFA罐的端部設(shè)有第一安裝部，第一安裝部用于安裝進(jìn)液組件，進(jìn)液組件穿設(shè)于第一安裝部并與PFA罐相連通，進(jìn)液組件用于向PFA罐注入藥液。本申請(qǐng)改善了工作人員在輸送藥液到儲(chǔ)液罐時(shí)，無(wú)法實(shí)時(shí)觀察到儲(chǔ)液罐內(nèi)藥液含量的問(wèn)題。