【編號(hào)】2021-61

【名稱(chēng)】一種倒裝式聚四氟乙烯半導(dǎo)體晶片夾具

【公開(kāi)（公告）號(hào)】CN113458995A

【公開(kāi)（公告）日期】2021.10.01

【申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人】中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所

【摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種倒裝式聚四氟乙烯半導(dǎo)體晶片夾具，可將半導(dǎo)體晶片以倒置的方式夾持，包含夾具主體、夾具底板、螺母和螺桿四個(gè)結(jié)構(gòu)。所述夾具主體的中心設(shè)計(jì)了一個(gè)凹腔，用于放置半導(dǎo)體晶片。為了防止倒置后的晶片脫落，設(shè)計(jì)了一個(gè)夾具底板。夾具底板中心有一個(gè)中心通孔，且該中心通孔直徑小于半導(dǎo)體晶片直徑。夾具主體和夾具底板通過(guò)四個(gè)螺桿連接。另外，螺桿長(zhǎng)度的長(zhǎng)度遠(yuǎn)大于夾具主體固定通孔和夾具底板固定通孔長(zhǎng)度之和，螺桿頂端突出于夾具底板，起到一個(gè)支撐腿的作用，這種設(shè)計(jì)有利于溶液通過(guò)夾具底板中心通孔進(jìn)行溶液交換，提高溶液反應(yīng)效率。