【編號】2017-99　　

【名稱】一種基于PVDF壓電薄膜的雙向無閥微流泵及其制備方法                                　　

【公開（公告）號】CN107178488A 　　

【公開（公告）日期】2017.09.19　　

【申請（專利權(quán)）人】西安交通大學(xué)                                　　

【摘要】本發(fā)明公開了一種基于PVDF壓電薄膜的雙向無閥微流泵及其制備方法，包括自上到下依次固定連接的蓋板、PVDF壓電薄膜、通道層及基板，其中，PVDF壓電薄膜的上表面及下表面均設(shè)有若干導(dǎo)電膜區(qū)，各導(dǎo)電膜區(qū)均包括工作區(qū)電極及用于將工作區(qū)電極與外界電壓源相連接的導(dǎo)通區(qū)電極，且PVDF壓電薄膜上表面上的一個(gè)工作區(qū)電極正對PVDF壓電薄膜下表面上的一個(gè)工作區(qū)電極，蓋板上開設(shè)有通孔，通道層上開設(shè)有流體通道及兩個(gè)儲液池，其中，流體通道的兩端分別與兩個(gè)儲液池相連通，且PVDF壓電薄膜上表面上的各工作區(qū)電極正對所述通孔及所述流體通道，儲液池與外界液體源相連通，該微流泵能夠?qū)崿F(xiàn)無閥雙向驅(qū)動(dòng)，切換較為簡單，并且制備方法易于實(shí)現(xiàn)。