【編號】2013-52
　　【名稱】一種帶有保護氣體大氣等離子體發(fā)生裝置
　　【公開（公告）號】CN103237406A
　　【公開（公告）日期】2013.08.07
　　【申請（專利權(quán)）人】哈爾濱工業(yè)大學(xué)
　　【摘要】一種帶有保護氣體大氣等離子體發(fā)生裝置，它屬于等離子體加工光學(xué)零件的技術(shù)領(lǐng)域。它為了解決目前大氣等離子體加工過程中存在的表面沉積問題。它的第一圓環(huán)形聚四氟乙烯定位套套接在中空管電極上部的外圓面上，地電極上部套接在第一圓環(huán)形聚四氟乙烯定位套的外圓面上，第二圓環(huán)形聚四氟乙烯定位套套接在射頻線接頭外表面上，第二圓環(huán)形聚四氟乙烯定位套穿過地電極側(cè)面的孔后露出一段，射頻線接頭的另一端為射頻電源的陽極接線端，帶孔圓環(huán)形聚四氟乙烯定位套套接在中空管電極下部的外圓面上，中空管電極的下端設(shè)置在錐形噴嘴內(nèi)部。本發(fā)明能在激發(fā)的大氣等離子體周圍形成保護層，防止大氣等離子體中原子團與空氣中雜質(zhì)結(jié)合發(fā)生復(fù)合。