【編號(hào)】2011-48
　　【名稱(chēng)】聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)
　　【申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人】 中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
　　【公開(kāi)(公告)日】 2011.08.03
　　【公開(kāi)(公告)號(hào)】CN201913087U
　　【摘要】 本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于半導(dǎo)體清洗工藝中的聚四氟乙烯清洗花籃改良結(jié)構(gòu)，其包括把手和一個(gè)以上花籃本體，所述把手上設(shè)置一個(gè)以上卡槽，所述花籃本體的一側(cè)部設(shè)置可與所述卡槽緊密插接配合的突出部。所述卡槽優(yōu)選采用T型卡槽。所述花籃本體上端面上分布二個(gè)以上可以容置硅片的淺槽。所述淺槽的槽底部設(shè)置復(fù)數(shù)個(gè)豎直通孔。本實(shí)用新型在保有現(xiàn)有聚四氟乙烯清洗花籃各種優(yōu)點(diǎn)的同時(shí)，還可用于同時(shí)清洗多品種、多規(guī)格的多片小片，且其底部設(shè)置的通孔還提高了清洗的效率，再者，利用卡槽，尤其是T型卡槽固定花籃本體和把手，使得清洗花籃更加堅(jiān)固耐用，且便于安裝拆卸，并使得清洗花籃還易于運(yùn)輸和收儲(chǔ)。