協(xié)會成員動態(tài)：黎明化工研究設計院有限責任公司

公司承擔國家科技重大專項進展順利

日前獲悉，公司承擔的國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”之子項目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”，項目研發(fā)進展順利，部分技術已實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應用。

公司接到國家相關項目立項批復后，積極選調(diào)科研人員，組建項目團隊。項目團隊在現(xiàn)有氟化物工藝基礎上，勇克難關，不斷突破產(chǎn)物合成、精制提純、雜物分析、潔凈充裝等關鍵技術，并投入300余萬元建成標準化潔凈間，保證產(chǎn)品質(zhì)量，也為公司含氟電子氣體產(chǎn)品的推廣搭建良好的展示平臺。

截止日前，公司已完成高純六氟化硫和高純四氟化碳生產(chǎn)試驗，試制出滿足指標要求的產(chǎn)品，并通過客戶驗證，并完成5項專利申請（其中發(fā)明專利3項，實用新型專利2項），發(fā)表研究論文3篇。

在研發(fā)基礎上，公司高純六氟化硫已實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)，產(chǎn)能已由最初的年產(chǎn)50噸逐步改擴建為1000噸/年，年產(chǎn)值5000萬以上，電子級四氟化碳產(chǎn)品也提交客戶使用，市場反應良好。

公司相關負責人認為，在工業(yè)六氟化硫市場競爭加劇、產(chǎn)能過剩，價格大跌的情況下，推進氟化物產(chǎn)品結構調(diào)整勢在必行，氟化物公司借助國家科技重大專項的平臺，進一步加快科技創(chuàng)新及產(chǎn)業(yè)化發(fā)展步伐，成功實現(xiàn)由工業(yè)級向高純級、多品種等高性能、高附加值產(chǎn)品轉(zhuǎn)型升級，助推利潤提升，并拓展含氟電子特氣在半導體領域的應用市場，滿足目前和今后一段時期內(nèi)極大規(guī)模集成電路的需求，逐步實現(xiàn)相關產(chǎn)品的國產(chǎn)化。

（摘自黎明化工研究設計院有限責任公司）