協(xié)會(huì)成員動(dòng)態(tài)：黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司

公司承擔(dān)國家科技重大專項(xiàng)進(jìn)展順利

日前獲悉，公司承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”之子項(xiàng)目“高純四氟化碳和六氟化硫研發(fā)與中試”，項(xiàng)目研發(fā)進(jìn)展順利，部分技術(shù)已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用。

公司接到國家相關(guān)項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)后，積極選調(diào)科研人員，組建項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)在現(xiàn)有氟化物工藝基礎(chǔ)上，勇克難關(guān)，不斷突破產(chǎn)物合成、精制提純、雜物分析、潔凈充裝等關(guān)鍵技術(shù)，并投入300余萬元建成標(biāo)準(zhǔn)化潔凈間，保證產(chǎn)品質(zhì)量，也為公司含氟電子氣體產(chǎn)品的推廣搭建良好的展示平臺(tái)。

截止日前，公司已完成高純六氟化硫和高純四氟化碳生產(chǎn)試驗(yàn)，試制出滿足指標(biāo)要求的產(chǎn)品，并通過客戶驗(yàn)證，并完成5項(xiàng)專利申請(qǐng)（其中發(fā)明專利3項(xiàng)，實(shí)用新型專利2項(xiàng)），發(fā)表研究論文3篇。

在研發(fā)基礎(chǔ)上，公司高純六氟化硫已實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)，產(chǎn)能已由最初的年產(chǎn)50噸逐步改擴(kuò)建為1000噸/年，年產(chǎn)值5000萬以上，電子級(jí)四氟化碳產(chǎn)品也提交客戶使用，市場反應(yīng)良好。

公司相關(guān)負(fù)責(zé)人認(rèn)為，在工業(yè)六氟化硫市場競爭加劇、產(chǎn)能過剩，價(jià)格大跌的情況下，推進(jìn)氟化物產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整勢在必行，氟化物公司借助國家科技重大專項(xiàng)的平臺(tái)，進(jìn)一步加快科技創(chuàng)新及產(chǎn)業(yè)化發(fā)展步伐，成功實(shí)現(xiàn)由工業(yè)級(jí)向高純級(jí)、多品種等高性能、高附加值產(chǎn)品轉(zhuǎn)型升級(jí)，助推利潤提升，并拓展含氟電子特氣在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用市場，滿足目前和今后一段時(shí)期內(nèi)極大規(guī)模集成電路的需求，逐步實(shí)現(xiàn)相關(guān)產(chǎn)品的國產(chǎn)化。

（摘自黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司）