【編  號(hào)】96/續(xù)173
　　【題　名】有機(jī)薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管的研制
　　【關(guān)鍵詞】有機(jī)薄膜晶體管 銅酞菁 聚四氟乙烯 全蒸鍍法 銀電極 氧化銦錫
　　【文　摘】采有聚四氟乙烯充當(dāng)絕緣材料，利用全蒸鍍法制備得到了有機(jī)薄膜場(chǎng)效應(yīng)晶體管，源極和漏極采用氧化銦錫，并導(dǎo)體層和絕緣層分別由銅酞菁和聚四氟乙烯充當(dāng)，柵極采用銀電極。在利用光刻制備溝道長(zhǎng)度為50μm的源極和漏極后，依次真空沉積銅酞菁層，聚四氟乙烯層和銀層，得到器件的電子遷移率為1．1×10^-6cm^2·（V·s^-1)，開(kāi)關(guān)電流比大于500。