【編號(hào)】2019-67
　　【題名】基于PVDF的高壓電性薄膜制備工藝研究
　　【作者】陳寶成, 覃雙, 張旭, 孫權(quán), 張鵬
　　【機(jī)構(gòu)】中國電子科技集團(tuán)公司第四十九研究所；中國工程物理研究院流體物理研究所
　　【刊名】傳感器與微系統(tǒng)（2019年10期）
　　【文摘】針對(duì)國內(nèi)的聚偏二氟乙烯(PVDF)壓電傳感器僅限于實(shí)驗(yàn)室階段,仍需要大量進(jìn)口的現(xiàn)狀,通過對(duì)PVDF壓電特性分析,結(jié)合傳感器產(chǎn)品的結(jié)構(gòu),進(jìn)行PVDF壓電傳感器的制備工藝的研究.對(duì)工藝過程中的初始薄膜制備、單軸拉伸、高壓極化和磁控濺射等主要工藝進(jìn)行制備工藝參數(shù)的探索,獲得了PVDF壓電敏感薄膜,并采用聚酰亞胺材料進(jìn)行封裝,得到PVDF壓電傳感器.對(duì)該傳感器進(jìn)行關(guān)鍵參數(shù)靜態(tài)壓電系數(shù)d33的測(cè)試,結(jié)果為13.1PC/N,獲得了滿足實(shí)際工程使用的PVDF壓電傳感器產(chǎn)品.