【編號(hào)】2016-66
　　【題名】基于PVDF的柔性壓力傳感器陣列的制備及仿真研究
　　【作者】盧凱，黃文，劉思祎等
　　【機(jī)構(gòu)】電子科技大學(xué) 電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；清華大學(xué) 工程力學(xué)系
　　【刊名】電子元件與材料（2016年03期）
　　【文摘】采用濕法刻蝕制備了基于PVDF薄膜的柔性4×4壓力傳感器陣列，該傳感器具有16個(gè)毫米尺寸的電容器單元。使用光學(xué)顯微鏡、原子力顯微鏡觀測(cè)了傳感器表面形貌，顯示電極陣列的界面清晰，PVDF薄膜表面形貌平整。力電耦合效應(yīng)測(cè)試的結(jié)果顯示傳感器的應(yīng)力輸入和電壓輸出具備高的信噪比和良好的線性關(guān)系，力電響應(yīng)為12×10–3V/kPa。受力-空載響應(yīng)輸出顯示，對(duì)傳感器施加20~80kPa范圍的脈沖壓力，得到了輸出0.26~0.98 V的電壓信號(hào)，并且放電時(shí)間少于2.5ms。結(jié)合仿真計(jì)算研究了傳感器陣列之間的電勢(shì)信號(hào)影響，結(jié)果表明相鄰陣列單元間的信號(hào)干擾隨著陣列所受壓力增加而增加并且呈現(xiàn)線性關(guān)系，干擾信號(hào)為0.028×10–3V/kPa，在1.4mm2尺寸時(shí)，低于178kPa壓力所產(chǎn)生的干擾信號(hào)可以近似忽略。