【編號(hào)】2015-41
　　【題名】基于PVDF的三維納米諧振觸發(fā)測頭及定位系統(tǒng)
　　【作者】李志渤，黃強(qiáng)先，史科迪等
　　【機(jī)構(gòu)】合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院
　　【刊名】機(jī)械工程學(xué)報(bào)（2015年，2期）
　　【文摘】微納米三坐標(biāo)測量機(jī)(Coordinate measuring machining, CMM)是目前微納米三維測量領(lǐng)域的一個(gè)研究熱點(diǎn)，針對(duì)微納米CMM中三維納米測頭的研究瓶頸，提出一種與現(xiàn)有機(jī)械接觸式測頭和光學(xué)非接觸式測頭工作原理完全不同的、可達(dá)到納米/亞納米量級(jí)觸發(fā)分辨力的新型諧振測頭。利用聚偏氟乙烯(Poly vinylidene fluoride, PVDF)薄膜的壓電特性和其諧振參數(shù)對(duì)微小作用力的高敏感性，PVDF薄膜與一體式光纖微測桿測球相結(jié)合構(gòu)建成了基于PVDF薄膜的三維納米諧振觸發(fā)測頭。該測頭在z 向以輕敲模式接觸，在x、y向以摩擦模式接觸。經(jīng)過試驗(yàn)驗(yàn)證，由該測頭與三維納米定位平臺(tái)、數(shù)據(jù)處理及反饋控制系統(tǒng)相結(jié)合構(gòu)建成的三維諧振納米觸發(fā)定位系統(tǒng)在x、y、z三個(gè)方向的觸發(fā)分辨力都達(dá)到了亞納米量級(jí)，分別為0.12 nm、0.10 nm、0.12 nm；三維重復(fù)性誤差分別為26 nm、36 nm、10 nm。試驗(yàn)結(jié)果證實(shí)了新型三維諧振測頭及其系統(tǒng)的有效性。