【編號(hào)】2012-40
　　【題名】基于PVDF掃描測(cè)頭的電路系統(tǒng)構(gòu)建及性能測(cè)試
　　【作者】魏晉鵬, 李志渤, 黃強(qiáng)先
　　【機(jī)構(gòu)】合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院
　　【刊名】儀表技術(shù)與傳感器2012年10期
　　【文摘】一種采用PVDF薄膜和壓電傳感器結(jié)合鎢探針構(gòu)成的新型掃描測(cè)頭可以對(duì)柔軟易損壞及具有大臺(tái)階特征的表面實(shí)現(xiàn)高精度非破壞性測(cè)量.基于該新型測(cè)頭構(gòu)建了硬件電路系統(tǒng),并通過相關(guān)試驗(yàn)測(cè)試了系統(tǒng)特性.試驗(yàn)結(jié)果證明:該掃描測(cè)頭在垂直方向上可實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)的分辨率。