【編  號】2011-82
　　【題　名】基于PVDF薄膜的流場動態(tài)壓力檢測方法的研究
　　【作　者】阮曉東;巴靜;陳暉;陳文昱;傅新;
　　【機　構(gòu)】浙江大學流體傳動及控制國家重點實驗室;
　　【刊　名】傳感器與微系統(tǒng)2011(07)
　　【文　摘】針對檢測狹小空間流場壓力時,通用液體壓力傳感器存在體積大、頻響低以及干擾流場等問題,提出一種基于聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的流場動態(tài)壓力檢測方法,該方法采用光刻工藝直接在敷鍍有金屬鋁電極的PVDF薄膜上制作壓力傳感元件,該元件具有面積小、厚度薄、柔韌性好的特點,非常適合于狹小流場空間壁面壓力分布的測量。試驗研究表明:該方法特別適用于檢測流場微小的壓力波動,線性度誤差為±2.3%,輸出靈敏度為