【編號】2020-17
　　【題名】基于大面積TFT和PVDF薄膜的表面形貌無損探測技術(shù)
　　【作者】尚飛，胡瀟然，張千等
　　【機構(gòu)】電子科技大學材料與能源學院
　　【刊名】電子科技大學學報（2020年02期）
　　【文摘】針對物體表面形貌無損探測,提出了一種基于大面積薄膜晶體管(TFT)和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的表面形貌探測方法,具有大面積、可覆形、便攜化和高精度的特點。該方法利用電容傳感器原理,將已廣泛應(yīng)用于半導體顯示領(lǐng)域的TFT陣列與傳感器相結(jié)合,可精確定位物體表面微米級缺陷,測量分辨率達到50μm,實現(xiàn)了對物體表面形貌的精準無損探測。