【編  號】2006-28
　　【題　名】美國SensArray展出聚四氟乙烯包覆溫度傳感器底板
　　【文　摘】美國SensArray公司在日前展出了用于測量生產(chǎn)線溫度的晶圓狀傳感器底板?？蓹z測晶圓處理工序用制造設備內(nèi)部的設定值與實際溫度的差值及溫度波動等情況。據(jù)稱還可用于液浸曝光設備的溫度管理。